(美)斯蒂芬·A·坎贝尔著2011 年出版640 页ISBN:9787121134289
本书是《微电子制造科学原理与工程技术》的第三版。本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、...
S.A.纳尔逊(S.A.Nelson)著2016 年出版214 页ISBN:9787564224837
S.A.纳尔逊,身为查尔斯·亨利·道的朋友,也是道氏理论的研究者和推崇者。1884年,查尔斯·道发现了道氏规律,但并未真正提出这一概念。真正提出“道氏理论”这一概念的要属S.A.纳尔逊。他潜心研究道氏理论,收集整...