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（美）施敏，（美）梅凯瑞著；陈军宁，柯导明，孟坚译2007 年出版284 页ISBN：7811102927
本书是有关半导体制造各工艺步骤。
（美）佩斯金（Peskin，M.E.），（美）施罗德（Schroeder，D.V.）著2006 年出版842 页ISBN：7506272946
本书是一部经典教材，适用于物理系的研究生。
