（美）唐纳德A.尼曼（DonaldA.Neamen）著；赵毅强，姚素英，史再峰等译2018 年出版546 页ISBN：9787121343216
本书是微电子技术领域的基础教程。全书涵盖了量子力学、固体物理、半导体材料物理及半导体器件物理等内容，分成三部分，共计15章。第一部分为半导体材料属性，主要讨论固体晶格结构、量子力学、固体量子理论、平...
（美）Stephen A. Campbell著；曾莹等译（明尼苏达大学）2003 年出版613 页ISBN：7505383132
本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
M. A. 拉夫连季耶夫（Лаврентъев М. А.），Б. B. 沙巴特（Шабат Б. В.）著；施祥林，夏定中，吕乃刚译2006 年出版587 页ISBN：7040183986
